脉冲电源具备正脉冲、负脉冲、比例脉冲、间隔脉冲、计数脉冲、计时脉冲、程序脉冲等功能,脉冲宽度1us-999ms、比例值1-0.000001、间隔数量1-999:1-999、脉冲计数1-998001、计时范围1-998001S、占空比1-99%、频率范围1HZ-100KHZ、频率精度1HZ、5段程序脉冲可选、每段程序脉冲运行时间1-998001S等;电压范围6-30KV可选、电流范围1-30KA可选、人性化显示界面、指针与数字显示模式、一键启动功能、主从控制模式等。其优越的性能不但能满足您对各种化学研究、各种水处理、真空镀膜、真空溅射、精密电解、精密电镀、表面改性、电腐蚀、电着色、电容老化、等离子体注入等对电源的要求,更能通过其特有的标准脉冲矩形波和高精度调节能为您的生产或研究创造更大的效益、为社会节约更多的能源。紧凑科学的结构设计,可以方便灵活的安装;先进的空间电压、电流矢量控制算法、稳压或稳流工作模式选择保证了您的控制要求;过压、欠压、过流、超温、IGBT故障、故障保护选择、故障锁定及显示等功能保证了系统运行的安全性和维护的方便性;7寸触摸屏控制、完善的状态及参数显示界面配合多功能输入输出口,更有上位机集中监控功能使用户的生产控制过程真正实现完美的智能化。按照国际标准进行设计和测试,保证产品的可靠性。
脉冲参数的选择(因此项多为经验)
在应用脉冲功能时,脉冲参数的合理选择至关重要,因为它直接影响到镀层金属的结晶度、沉积速度、厚度分布、杂质含量等。
关于脉冲参数,在平均电流恒定的情况下,一般随着占空比的减小,沉积层晶粒尺寸变小,杂质(不含离子杂质)含量降低,但设备输出的最大平均电流减小,设备利用率降低。例如:峰值电流30A的脉冲电源,使用20%占空比较使用30%占空比结晶细致,但使用20%占空比最大平均电流约6A,而使用30%占空比最大平均电流为9A。
综合比较占空比对电沉积的影响,脉冲占空比一般选择10-30%较为合适。关于脉冲频率,应用中选择1000Hz左右的较多。